可以的自主研發(fā)的壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái)，使用壓電陶瓷作為運(yùn)動(dòng)促動(dòng)元件，可以在數(shù)百毫米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)別的步長(zhǎng)。更具有運(yùn)動(dòng)無(wú)需潤(rùn)滑，真空兼容，可在從液氦溫區(qū)（-269攝氏度）至室溫的寬溫區(qū)內(nèi)工作等優(yōu)點(diǎn)。具有步進(jìn)和掃描雙工作模式，在宏觀(guān)行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。
壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái)產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
結(jié)構(gòu)緊湊，高剛性。
零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)。
室溫到液氦工作溫度，超高真空兼容。
壓電陶瓷促進(jìn)器具有超長(zhǎng)使用壽命。
帶位移傳感器，提供位置和速度閉環(huán)控制。

 

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