納米位移臺使用中出現(xiàn)“抖動”現(xiàn)象，通常表現(xiàn)為位置波動、不穩(wěn)定振動或定位不準確。這種問題可能由控制系統(tǒng)、機械結(jié)構(gòu)、驅(qū)動信號或環(huán)境干擾等多方面引起。以下是常見原因及解決方法：
一、控制系統(tǒng)問題
1. 控制器增益設置過高（典型原因）
問題：PID 控制參數(shù)設置不當，尤其是比例增益太高，會導致系統(tǒng)過度響應，產(chǎn)生震蕩或自激振蕩。
解決方法：
逐步調(diào)低比例增益（P），適當調(diào)整積分（I）和微分（D）參數(shù)。
嘗試使用更適合的控制策略，如前饋控制、自適應控制或低通濾波。
2. 控制器與驅(qū)動器不匹配
檢查控制器輸出與位移臺響應特性是否一致，避免信號不兼容引發(fā)微抖。
二、驅(qū)動信號問題
3. 壓電驅(qū)動信號波形不平滑
問題：若驅(qū)動壓電元件的電壓信號中包含高頻尖峰，會導致微振動。
解決方法：
使用帶濾波功能的高精度放大器。
優(yōu)化波形（如將階躍變換改為平滑曲線）。
4. 信號噪聲
檢查驅(qū)動信號線是否屏蔽良好，電源是否穩(wěn)定。
若噪聲較強，可考慮使用濾波電路或數(shù)字信號處理。
三、機械結(jié)構(gòu)與負載問題
5. 結(jié)構(gòu)共振
問題：位移臺或安裝平臺存在固有頻率，受到驅(qū)動信號激發(fā)后產(chǎn)生共振。
解決方法：
修改安裝結(jié)構(gòu)，提高其剛性或改變質(zhì)量分布以調(diào)整共振頻率。
降低掃描速度，避開共振頻率。
6. 負載變化過快或偏心
若被移動樣品過重或偏心加載，會引起平臺不平衡，從而導致振動。
建議均衡負載、減小質(zhì)量、避免偏心。
四、外部環(huán)境干擾
7. 地面或空氣振動干擾
位移臺對微小擾動非常敏感。
解決方法：
使用氣浮減震平臺、減震墊或安裝在專用防震臺上。
保證操作環(huán)境無大幅機械震動或風流干擾。
五、溫度變化
8. 熱漂移引發(fā)微應力變化
溫度波動會引起平臺結(jié)構(gòu)膨脹，出現(xiàn)微小但可檢測的變化，表現(xiàn)為抖動。
使用溫控室、加熱罩或延長預熱時間穩(wěn)定系統(tǒng)。